ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW

ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW

CE MEMOIRE EST CONSACRE A L'ETUDE EXPERIMENTALE ET A LA MODELISATION D'UNE DECHARGE PLANAR MAGNETRON RADIOFREQUENCE, POUR LA PULVERISATION CATHODIQUE D'UNE CIBLE DE WTI SOUS UN PLASMA D'ARGON. L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL EST DE CONTRIBUER A UNE MEILLEURE COMPREHENSION ET A TERM...

Description complète

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Détails bibliographiques
Auteur principal : CLENET FREDERIC (Auteur)
Autres auteurs : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : ETUDE EXPERIMENTALE ET MODELISATION D'UNE DECHARGE RADIOFREQUENCE MAGNETRON POUR LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE TIW / FREDERIC CLENET; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1997
Description matérielle : 180 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : PHYSIQUE : Nantes : 1997
Sujets :
PHYSIQUE : FLUIDES, PLASMAS ET DECHARGES ELECTRIQUES/SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE
ETUDE THEORIQUE/ETUDE EXPERIMENTALE/PULVERISATION CATHODIQUE/MAGNETRON/RADIOFREQUENCE/DIAGNOSTIC PLASMA/SPECTROMETRIE EMISSION/SONDE ELECTROSTATIQUE/MODELISATION/COUCHE MINCE/TITANE ALLIAGE/TUNGSTENE ALLIAGE/ALLIAGE TIW/TI W/5275R/PAC/8115C/PAC
THEORETICAL STUDY/EXPERIMENTAL STUDY/CATHODE SPUTTERING/MAGNETRONS/RADIOFREQUENCY/PLASMA DIAGNOSTICS/EMISSION SPECTROSCOPY/ELECTROSTATIC PROBES/MODELLING/THIN FILMS/TITANIUM ALLOYS/TUNGSTEN ALLOYS

BU Sciences

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Magasin aérotherme 97 NANT 2081 Empruntable Disponible
Magasin aérotherme 97 NANT 2081 Exclu du prêt Disponible