GRAVURE DU PHOSPHURE D'INDIUM INP EN PLASMA CH#4/H#2 POUR LES TECHNOLOGIES MICRO-ELECTRONIQUES
L'UTILISATION DE PLASMAS A BASE DE METHANE ET D'HYDROGENE S'EST IMPOSEE DEPUIS QUELQUES ANNEES POUR LES ETAPES DE GRAVURE DES TECHNOLOGIES DE FABRICATION DE COMPOSANTS MICRO ET OPTO-ELECTRONIQUES DE LA FILIERE INP. CE MEMOIRE DE THESE TRAITE DE LA GRAVURE DES MATERIAUX DE LA FILIERE I...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | GRAVURE DU PHOSPHURE D'INDIUM INP EN PLASMA CH#4/H#2 POUR LES TECHNOLOGIES MICRO-ELECTRONIQUES / YANNICK FEURPRIER; SOUS LA DIRECTION DE CHRISTOPHE CARDINAUD |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1997 |
Description matérielle : | 250 P. |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences appliquées : Nantes : 1997 |
Sujets : | |
Documents associés : | Reproduit comme:
GRAVURE DU PHOSPHURE D'INDIUM INP EN PLASMA CH#4/H#2 POUR LES TECHNOLOGIES MICRO-ELECTRONIQUES |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Communication impossible | 97 NANT 2022 | Empruntable | Disponible |
Communication impossible | 97 NANT 2022 | Exclu du prêt | Disponible |