Pulvérisation réactive de type diode-continu polarisée (Ti, Ar, N2) : Effets de la polarisation et de la pression d'azote sur la décharge et les propriétés de couches résistives de Ti et TiN

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Détails bibliographiques
Auteur principal : Poitevin Jean-Marc
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Pulvérisation réactive de type diode-continu polarisée (Ti, Ar, N2) : Effets de la polarisation et de la pression d'azote sur la décharge et les propriétés de couches résistives de Ti et TiN / Jean-Marc Poitevin
Publié : 1985
Description matérielle : 132 p.
Note de thèse : Th. : Physique : Nantes : 1985
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