NantilusPulvérisation réactive de type diode-continu polarisée (Ti, Ar, N2) : Effets de la polarisation et de la pression d'azote sur la décharge et les propriétés de couches résistives de Ti et TiN
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Pulvérisation réactive de type diode-continu polarisée (Ti, Ar, N2) : Effets de la polarisation et de la pression d'azote sur la décharge et les propriétés de couches résistives de Ti et TiN / Jean-Marc Poitevin |
| Publié : |
1985 |
| Description matérielle : | 132 p. |
| Note de thèse : | Th. : Physique : Nantes : 1985 |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 85 NANT Poitevin 2ex | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 86 NANT Poitevin 4ex | Exclu du prêt | Disponible |