INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE, CONTINUE, SUR LA CINETIQUE DE DEFORMATION ET LA STRUCTURE DE COUCHES MINCES DE TITANE ET DE NITRURE DE TITANE

INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE, CONTINUE, SUR LA CINETIQUE DE DEFORMATION ET LA STRUCTURE DE COUCHES MINCES DE TITANE ET DE NITRURE DE TITANE

ETUDE DE LA PULVERISATION DU TITANE DANS L'ARGON ET DANS UN MELANGE ARGON-AZOTE. ETUDE DE LA CORRELATION ENTRE LES PARAMETRES MACROSCOPIQUES ET MICROSCOPIQUES DE LA DECHARGE AVEC LES PROPRIETES DES COUCHES DEPOSEES

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Bibliographic Details
Main Author : Lempérière Georges (Auteur)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE, CONTINUE, SUR LA CINETIQUE DE DEFORMATION ET LA STRUCTURE DE COUCHES MINCES DE TITANE ET DE NITRURE DE TITANE / GEORGES LEMPERIERE
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1985
Physical Description : 266 P.
Note de thèse : DOCTORAT D'ETAT : SCIENCES APPLIQUEES/PHYSIQUE : Nantes : 1985
Subjects :
SCIENCES APPLIQUEES/PHYSIQUE : METAUX, METALLURGIE/ETAT CONDENSE : PROPRIETES MECANIQUES ET THERMIQUES
COUCHE MINCE/CRISTALLISATION/EFFET PRESSION/MICROSCOPIE ELECTRONIQUE BALAYAGE/PULVERISATION CATHODIQUE/DIFFRACTION RX/STRUCTURE CRISTALLINE/GROSSEUR GRAIN/MICROSTRUCTURE/POLARISATION CATHODIQUE/METAL TRANSITION/ETUDE EXPERIMENTALE/DECHARGE PRODUITE PAR FAISCEAU/PULVERISATION REACTIVE/TENSION POLARISATION/TITANE NITRURE/METAL PUR TI
THIN FILM/CRYSTALLIZATION/PRESSURE EFFECT/SCANNING ELECTRON MICROSCOPY/CATHODE SPUTTERING/X RAY DIFFRACTION/CRYSTAL STRUCTURE/GRAIN SIZE/MICROSTRUCTURE/CATHODIC POLARIZATION/TRANSITION METAL/EXPERIMENTAL STUDY/BEAM PRODUCED DISCHARGE/CATHODIC SPUTTERING/REACTIVE SPUTTERING/CRYSTALLINE STRUCTURE/BIAS VOLTAGE/TITANIUM NITRIDES
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