INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE, CONTINUE, SUR LA CINETIQUE DE DEFORMATION ET LA STRUCTURE DE COUCHES MINCES DE TITANE ET DE NITRURE DE TITANE
ETUDE DE LA PULVERISATION DU TITANE DANS L'ARGON ET DANS UN MELANGE ARGON-AZOTE. ETUDE DE LA CORRELATION ENTRE LES PARAMETRES MACROSCOPIQUES ET MICROSCOPIQUES DE LA DECHARGE AVEC LES PROPRIETES DES COUCHES DEPOSEES
Enregistré dans:
Auteur principal : | |
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE, CONTINUE, SUR LA CINETIQUE DE DEFORMATION ET LA STRUCTURE DE COUCHES MINCES DE TITANE ET DE NITRURE DE TITANE / GEORGES LEMPERIERE |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1985 |
Description matérielle : | 266 P. |
Note de thèse : | DOCTORAT D'ETAT : SCIENCES APPLIQUEES/PHYSIQUE : Nantes : 1985 |
Sujets : |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Magasin aérotherme | 85 NANT Lemperiere 2ex | Empruntable | Disponible |
Magasin aérotherme | 85 NANT Lemperiere 3ex | Exclu du prêt | Disponible |