INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE, CONTINUE, SUR LA CINETIQUE DE DEFORMATION ET LA STRUCTURE DE COUCHES MINCES DE TITANE ET DE NITRURE DE TITANE

ETUDE DE LA PULVERISATION DU TITANE DANS L'ARGON ET DANS UN MELANGE ARGON-AZOTE. ETUDE DE LA CORRELATION ENTRE LES PARAMETRES MACROSCOPIQUES ET MICROSCOPIQUES DE LA DECHARGE AVEC LES PROPRIETES DES COUCHES DEPOSEES

Enregistré dans:
Détails bibliographiques
Auteur principal : Lempérière Georges (Auteur)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE, CONTINUE, SUR LA CINETIQUE DE DEFORMATION ET LA STRUCTURE DE COUCHES MINCES DE TITANE ET DE NITRURE DE TITANE / GEORGES LEMPERIERE
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1985
Description matérielle : 266 P.
Note de thèse : DOCTORAT D'ETAT : SCIENCES APPLIQUEES/PHYSIQUE : Nantes : 1985
Sujets :

BU Sciences

Informations d'exemplaires de BU Sciences
Cote Prêt Statut
Magasin aérotherme 85 NANT Lemperiere 2ex Empruntable Disponible
Magasin aérotherme 85 NANT Lemperiere 3ex Exclu du prêt Disponible