Journal of vacuum science & technology : B : Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena

Journal of vacuum science & technology : B Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena

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Auteur principal : American vacuum society (Auteur)
Format : Revue
Langue : anglais
Titre complet : Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
Publié : New York : Published for the Society by the American Institute of Physics , 1991-2009
Sujets :
Physique
Périodiques
Documents associés : Suite de: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
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