Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications
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Format : | Livre |
Langue : | anglais |
Titre complet : | Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications / edited by Werner Kern |
Publié : |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes Publications
, c1993 |
Description matérielle : | xx, 623 p. |
Collection : | Materials science and process technology series ed. Rointan F. Bunshah, Gary E. McGuire |
Sujets : |
Bibliographie : | Includes bibliographical references and index. |
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ISBN : | 0-8155-1331-3 |