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Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications
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| Autres auteurs : | |
|---|---|
| Format : | Livre |
| Langue : | anglais |
| Titre complet : | Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications / edited by Werner Kern |
| Publié : |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes Publications
, c1993 |
| Description matérielle : | xx, 623 p. |
| Collection : | Materials science and process technology series ed. Rointan F. Bunshah, Gary E. McGuire |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| 1er étage, salle 12 | 621.381 PRO | Empruntable | Disponible |