Nantilus
ETUDE COMPARATIVE DES DECHARGES DE PULVERISATION NON-REACTIVE ET REACTIVE PAR DES METHODES SPECTROSCOPIQUES ET ELECTRIQUES : APPLICATION A L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE
ETUDE DE L'INFLUENCE DE LA NATURE DU GAZ, DE LA PRESSION TOTALE ET DE LA POLARISATION DES SUPPORTS SUR LA DECHARGE, LE PHENOMENE DE PULVERISATION ET L'EXCITATION DES ESPECES NEUTRES ET IONISEES AU VOISINAGE DES SUPPORTS. ETUDE PAR SPECTROMETRIE OPTIQUE D'EMISSION ET D'ABSORPTION...
Enregistré dans:
| Auteur principal : | |
|---|---|
| Collectivité auteur : | |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ETUDE COMPARATIVE DES DECHARGES DE PULVERISATION NON-REACTIVE ET REACTIVE PAR DES METHODES SPECTROSCOPIQUES ET ELECTRIQUES : APPLICATION A L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE / ANDRE RINCHET |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1985 |
| Description matérielle : | 217 P. |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : Physique : Nantes : 1985 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 85 NANT Rinchet 2ex | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 85 NANT Rinchet 3ex | Exclu du prêt | Disponible |