ELABORATION PAR PULVERISATION CATHODIQUE ET CARACTERISATION DES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM PIEZO-ELECTRIQUES : APPLICATION A LA MESURE A HAUTE TEMPERATURE DE FLUCTUATIONS DE PRESSION

ELABORATION PAR PULVERISATION CATHODIQUE ET CARACTERISATION DES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM PIEZO-ELECTRIQUES : APPLICATION A LA MESURE A HAUTE TEMPERATURE DE FLUCTUATIONS DE PRESSION

LES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM (AIN) POLYCRISTALLIN DEPOSE PAR PULVERISATION CATHODIQUE REACTIVE, SONT ETUDIEES EN FONCTION DES PARAMETRES D'ELABORATION. L'EFFET PIEZO-ELECTRIQUE EST RECHERCHE, L'APPLICATION ETANT LA MESURE A HAUTE TEMPERATURE...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author : Raymond Olivier (Auteur)
Corporate Author : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Other Authors : Lefrant Serge (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : ELABORATION PAR PULVERISATION CATHODIQUE ET CARACTERISATION DES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM PIEZO-ELECTRIQUES : APPLICATION A LA MESURE A HAUTE TEMPERATURE DE FLUCTUATIONS DE PRESSION / OLIVIER RAYMOND; SOUS LA DIR. DE SERGE LEFRANT
Published : [S.l.] : [s.n.] , 2000
Physical Description : 245 p.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 2000
Subjects :
PHYSIQUE : ETAT CONDENSE : STRUCTURE ELECTRONIQUE. PROPRIETES ELECTRIQUES. MAGNETIQUES ET OPTIQUES
ETUDE EXPERIMENTALE ; CAPTEUR PRESSION ; FLUCTUATION PRESSION ; POLYCRISTAL ; ALUMINIUM NITRURE ; COMPOSE MINERAL ; PULVERISATION CATHODIQUE ; PROPRIETE PHYSICOCHIMIQUE ; MATERIAU PIEZOELECTRIQUE ; TEXTURE ; TRANSDUCTEUR ; AIN ; AL N