ETUDE DES MECANISMES D'ECHAUFFEMENT DE L'ANODE PORTE-SUBSTRATS DANS UNE DECHARGE DE PULVERISATION D'IODE-CONTINU. INFLUENCE DE LA TEMPERATURE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE

ETUDE DES MECANISMES D'ECHAUFFEMENT DE L'ANODE PORTE-SUBSTRATS DANS UNE DECHARGE DE PULVERISATION D'IODE-CONTINU. INFLUENCE DE LA TEMPERATURE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE

NOUS ETUDIONS L'INFLUENCE DES PARAMETRES D'UNE DECHARGE DE PULVERISATION DIODE-CONTINU SUR LA QUANTITE D'ENERGIE TRANSFEREE A L'ANODE PORTE-SUBSTRATS. LE CAS D'UNE POLARISATION NEGATIVE DE L'ANODE EST ENVISAGE. LE BOMBARDEMENT DES SUBSTRATS PAR LES ELECTRONS ET LES IONS...

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Détails bibliographiques
Auteur principal : Maheo Denis (Auteur)
Autres auteurs : Poitevin Jean-Marc (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : ETUDE DES MECANISMES D'ECHAUFFEMENT DE L'ANODE PORTE-SUBSTRATS DANS UNE DECHARGE DE PULVERISATION D'IODE-CONTINU. INFLUENCE DE LA TEMPERATURE ET DE LA POLARISATION DU SUBSTRAT SUR L'ELABORATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE / DENIS MAHEO; SOUS LA DIRECTION DE JEAN-MARC POITEVIN
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 1991
Description matérielle : 217 p
Note de thèse : Thèse Doctorat : CHIMIE : Nantes : 1991
Sujets :
CHIMIE : CHIMIE GENERALE ET PHYSIQUE
DECHARGE DE PULVERISATION DIODE-CONTINU/ECHAUFFEMENT DU SUBSTRAT/NITRURE DE TITANE/TEMPERATURE DU SUBSTRAT/POLARISATION DU SUBSTRAT/STRUCTURE/MORPHOLOGIE/RESISTIVITE ELECTRIQUE

BU Sciences

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Magasin aérotherme 91 NANT 2040 Empruntable Disponible
Magasin aérotherme 91 NANT 2040 Exclu du prêt Disponible