Élaboration de nouveaux conducteurs à base de nanotubes de carbone pour connexions inter-niveaux

Élaboration de nouveaux conducteurs à base de nanotubes de carbone pour connexions inter-niveaux

Ces travaux portent sur l élaboration des nanotubes de carbone (NTC) par procédé plasma pour leur intégration dans les connexions inter-niveaux des futurs circuits intégrés. L étude concerne l ensemble des étapes technologiques permettant cette intégration. Une attention particulière est portée sur...

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Auteur principal : Dubosc Martin (Auteur)
Collectivités auteurs : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), École doctorale sciences et technologies de l'information et des matériaux Nantes (Ecole doctorale associée à la thèse)
Autres auteurs : Cardinaud Christophe (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Élaboration de nouveaux conducteurs à base de nanotubes de carbone pour connexions inter-niveaux / Martin Dubosc; Christophe Cardinaud, directeur de thèse
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2007
Description matérielle : 1 vol. (177 p.)
Note de thèse : Thèse doctorat : Sciences des matériaux. Plasma, couches minces et nanostructures : Nantes : 2007
Sujets :
Nanotubes > Thèses et écrits académiques
Plasmas froids > Thèses et écrits académiques
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma > Thèses et écrits académiques

BU Sciences

Informations d'exemplaires de BU Sciences
‌ Cote Prêt Statut
Magasin aérotherme 2007 NANT 2133 Empruntable Disponible
Magasin aérotherme 2007 NANT 2133 Exclu du prêt disponible