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Cayrefourcq
Ian
,
Chartier Isabelle
,
Demotes-Mainard Bertrand
EDP Sciences DL 2014, cop. 2014
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Développement de techniques de patterning avancées pour les filières CMOS-sub 10nm
par
Sarrazin Aurélien
,
Cardinaud Christophe
,
Possémé Nicolas
,
Pimenta-barros Patricia
,
Vallée Christophe
,
Dussart Rémi
,
Le Brizoual Laurent
Chevolleau Thierry
Cayrefourcq
Ian
2017
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