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REALISATION ET ANALYSE DES PROPRIETES DES COUCHES MINCES DE NITRURE DE TUNGSTENE UTILISEES COMME BARRIERE ANTIDIFFUSION DANS LES CIRCUITS ELECTRONIQUES
CE TRAVAIL A POUR OBJET LA REALISATION ET LA CARACTERISATION DES COUCHES MINCES DE NITRURE DE TUNGSTENE PAR PULVERISATION DIODE CONTINUE. AU COURS DE CETTE ETUDE NOUS AVONS EXAMINE L'INFLUENCE DES DIFFERENTS PARAMETRES DE LA DECHARGE SUR LES PROPRIETES DES COUCHES DEPOSEES. L'EMPLOI DE DIV...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | REALISATION ET ANALYSE DES PROPRIETES DES COUCHES MINCES DE NITRURE DE TUNGSTENE UTILISEES COMME BARRIERE ANTIDIFFUSION DANS LES CIRCUITS ELECTRONIQUES / LOUBNA BOUKHRIS; SOUS LA DIRECTION DE JEAN MARC POITEVIN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1998 |
| Description matérielle : | 200 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences appliquées : Nantes : 1998 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 98 NANT 2016 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 98 NANT 2016 | Exclu du prêt | Disponible |