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Étude des propriétés des couches d'oxynitrure de silicium obtenues par la nitruration thermique rapide : "Dégradation-Vieillissement"
La nitruration superficielle des couches d'oxyde de silicium d'épaisseur 45 nm est réalisée a haute température (1060c) par la technique r. T. N (rapid thermal nitridation) pendant une durée variant de quelques secondes a une dizaine de minutes. L'analyse physico-chimique (x. P. S) a...
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| Auteurs principaux : | , |
|---|---|
| Collectivités auteurs : | , |
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | Étude des propriétés des couches d'oxynitrure de silicium obtenues par la nitruration thermique rapide : "Dégradation-Vieillissement" / Abdelillah Benbrik; sous la direction de R. Le Bihan |
| Publié : |
1992 |
| Description matérielle : | 1 vol. (129 f.) |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Chimie : Nantes : 1992 |
| Sujets : |
BU Sciences
| | Cote | Prêt | Statut |
|---|---|---|---|
| Magasin aérotherme | 92 NANT 2047 | Empruntable | Disponible |
| Magasin aérotherme | 92 NANT 2047 | Exclu du prêt | Disponible |