Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas

Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas

Ce travail de thèse est consacré à la conception, la réalisation et la caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés à basse température, sur substrat silicium, par procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). La fonction princ...

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Auteur principal : Begou Thomas (Auteur)
Collectivités auteurs : Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale Matériaux, Matières, Molécules en Pays de la Loire (3MPL) Le Mans 2008-2021 (Organisme de soutenance)
Autres auteurs : Goullet Antoine (Directeur de thèse), Bêche Bruno (Directeur de thèse)
Format : Thèse ou mémoire
Langue : français
Titre complet : Conception, réalisation et caractérisation de composants photoniques intégrés à base de matériaux diélectriques élaborés par procédés plasmas / Thomas Begou; sous la direction de Antoine Goullet et Bruno Bêche
Publié : [S.l.] : [s.n.] , 2008
Description matérielle : 1 vol. (194 f.)
Note de thèse : Thèse de doctorat : Science des matériaux : Nantes : 2008
Disponibilité : Publication autorisée par le jury
Sujets :
Guides d'ondes optiques > Thèses et écrits académiques
Photonique > Thèses et écrits académiques
Optique intégrée > Thèses et écrits académiques
Silicium > Composés organiques > Thèses et écrits académiques
Oxyde de titane > Thèses et écrits académiques
Ellipsométrie > Thèses et écrits académiques

BU Sciences

Informations d'exemplaires de BU Sciences
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Magasin aérotherme 2008 NANT 2109 Empruntable Disponible
Magasin aérotherme 2008 NANT 2109 Exclu du prêt disponible