Chimie en microélectronique

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Détails bibliographiques
Autres auteurs : Le Tiec Yannick (Éditeur scientifique)
Format : Livre
Langue : français
Titre complet : Chimie en microélectronique / sous la direction de Yannick Le Tiec
Publié : Paris : Hermes science publ. , DL 2013, cop. 2013
Lavoisier
Description matérielle : 1 vol. (384 p.)
Collection : Micro et nano électronique et systèmes. Recherche, technologie, applications
Sujets :
LEADER 01753cam a2200421 4500
001 PPN171330544
003 http://www.sudoc.fr/171330544
005 20230207060300.0
010 |a 978-2-7462-3918-0  |b rel.  |d 98 EUR 
073 1 |a 9782746239180 
100 |a 20130904h20132013k y0frey0103 ba 
101 0 |a fre  |e fre  |f fre 
102 |a FR 
105 |a a z 001yy 
106 |a r 
200 1 |a Chimie en microélectronique  |b Texte imprimé  |f sous la direction de Yannick Le Tiec 
210 |a Paris  |c Hermes science publ.  |c Lavoisier  |d DL 2013, cop. 2013 
215 |a 1 vol. (384 p.)  |c ill.  |d 25 cm 
225 2 |a Micro et nano électronique et systèmes  |i Recherche, technologie, applications  |x 2260-412X 
320 |a Bibliogr. en fin de chapitre. Index 
410 | |0 163960003  |t Micro et nano électronique et systèmes. Recherche, technologie, applications  |x 2260-412X 
606 |3 PPN027337510  |a Microélectronique  |3 PPN027722805  |x Chimie  |2 rameau 
606 |3 PPN030762111  |a Nitruration  |2 rameau 
606 |3 PPN02754804X  |a Traitements de surface  |3 PPN027722805  |x Chimie  |2 rameau 
606 |3 PPN027229890  |a Chimie des surfaces  |2 rameau 
606 |3 PPN027337510  |a Microélectronique  |3 PPN027282457  |x matériaux  |2 rameau 
606 |3 PPN028924924  |a Détecteurs de produits chimiques  |2 rameau 
606 |3 PPN029682495  |a Biocapteurs  |2 rameau 
606 |3 PPN027674703  |a Procédés de fabrication  |2 rameau 
606 |3 PPN027253309  |a Transistors  |2 rameau 
676 |a 621.3  |v 22 
702 1 |3 PPN171331109  |a Le Tiec  |b Yannick  |4 340 
801 3 |a FR  |b Electre  |c 20130813  |g AFNOR 
801 3 |a FR  |b Abes  |c 20131028  |g AFNOR 
930 |5 441092105:488847192  |b 441092105  |j u 
930 |5 441092104:491018525  |b 441092104  |a 621.38 CHI  |j u 
979 |a SCI 
998 |a 658321