Synthèse de couches minces de nitrures d'aluminium et de Bore par pulvérisation cathodique magnétron classique et à très haute puissance pulsée pour la gestion thermique des composants à haute température de fonctionnement

Synthèse de couches minces de nitrures d'aluminium et de Bore par pulvérisation cathodique magnétron classique et à très haute puissance pulsée pour la gestion thermique des composants à haute température de fonctionnement

Ces travaux concernent la mise au point d'un procédé de synthèse de couches minces AIN et BN à basse température par des procédés de pulvérisation réactive. Ce procédé magnétron a été choisi pour sa compatibilité avec les technologies de la microélectronique. Afin de permettre l'élaborati...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author : Soussou Mohamed-Akram (Auteur)
Corporate Authors : Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), École doctorale Matériaux, Matières, Molécules en Pays de la Loire (3MPL) Le Mans 2008-2021 (Organisme de soutenance)
Other Authors : Djouadi Mohamed-Abdou (Directeur de thèse), Scudeller Yves (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : Synthèse de couches minces de nitrures d'aluminium et de Bore par pulvérisation cathodique magnétron classique et à très haute puissance pulsée pour la gestion thermique des composants à haute température de fonctionnement / Mohamed-Akram Soussou; sous la direction de Mohamed-Abdou Djouadi et Yves Scudeller
Published : [S.l.] : [s.n.] , 2011
Physical Description : 1 vol. (225 p.)
Note de thèse : Thèse de doctorat : Science des matériaux, Plasmas et couches minces : Nantes : 2011
Availability : Publication autorisée par le jury
Subjects :
Nitrure de bore > Thèses et écrits académiques
Nitrure d'aluminium > Thèses et écrits académiques
Couches minces > Thèses et écrits académiques
Pulvérisation magnétron > HIPIMS > Gestion thermique > Composants de puissance

BU Sciences

Holdings details from BU Sciences
Location Call Number Loan type Status
Magasin aérotherme 2011 NANT 2112 Empruntable Available
Magasin aérotherme 2011 NANT 2112 Exclu du prêt disponible