Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS
Nous proposons dans cette thèse de développer une technologie de composants passifs dans les niveaux de métallisation d'une filière industrielle en effectuant un report des contraintes en performances sur les propriétés des matériaux utilisés en couches minces. Nous présentons la démarche adopt...
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Format : | Thesis |
Language : | français |
Title statement : | Développement, intégration et modélisation de composants passifs intégrés en couches minces dans une filière CMOS / Siamak Salimy; sous la direction de Serge Toutain; co-directeurs Ahmed Rhallabi et Antoine Goullet |
Published : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2010 |
Online Access : |
Via Nantes Université network
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Note de thèse : | Thèse doctorat : Électronique : Nantes : 2010 |
Subjects : | |
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