Dépôt de couches minces de nitrures par pulvérisation magnétron (PVD) : étude de la structure et de la contrainte des films

Dépôt de couches minces de nitrures par pulvérisation magnétron (PVD) : étude de la structure et de la contrainte des films

Les propriétés piézoélectriques, thermiques, acoustiques et diélectriques du nitrure d aluminium AlN en font un bon candidat pour de nombreuses applications en électronique, télécommunications ou encore pour des dispositifs SAW. Toutefois, les problèmes d adhérence liés à des contraintes trop import...

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Bibliographic Details
Main Author : Abdallah Bassam (Auteur)
Corporate Authors : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance), Université de Nantes Faculté des sciences et des techniques (Autre partenaire associé à la thèse), École doctorale Matériaux, Matières, Molécules en Pays de la Loire (3MPL) Le Mans 2008-2021 (Organisme de soutenance)
Other Authors : Djouadi Mohamed-Abdou (Directeur de thèse), Jouan Pierre-Yves (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : Dépôt de couches minces de nitrures par pulvérisation magnétron (PVD) : étude de la structure et de la contrainte des films / Bassam Abdallah; sous la co-direction de M-Abdou Djouadi et Pierre-Yves Jouan
Published : [S.l.] : [s.n.] , 2008
Physical Description : 1 vol. (205 f.)
Note de thèse : Thèse doctorat : Sciences des matériaux, plasma et couches minces : Nantes : 2008
Availability : Publication autorisée par le jury
Subjects :
Couches minces > Thèses et écrits académiques
Pulvérisation cathodique > Thèses et écrits académiques
Microscopie > Thèses et écrits académiques
Nitrures > Thèses et écrits académiques

BU Sciences

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Location Call Number Loan type Status
Magasin aérotherme 2008 NANT 2051 Empruntable Available
Magasin aérotherme 2008 NANT 2051 Exclu du prêt disponible