Technologie microélectronique : du silicium aux circuits intégrés

Technologie microélectronique : du silicium aux circuits intégrés

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Bibliographic Details
Main Author : Bonnaud Olivier (Auteur)
Format : Textbook
Language : français
Title statement : Technologie microélectronique : du silicium aux circuits intégrés / Olivier Bonnaud,..
Published : Paris : Ellipses , DL 2008
Physical Description : 1 vol. (VI-150 p.)
Series : Technosup (Paris)
Les Cours de l'École supérieure d'électricité
Subjects :
Microélectronique
MOS (électronique)
Photolithographie
Semiconducteurs
Description
Bibliography : Bibliogr. p. 149-150. Index
ISBN : 978-2-7298-3866-9