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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
This methodic manual presents a survey of the form-related and functional elements of the bulk silicon microtechnique. It gives a systematic description of simple shape elements and of elements for mechanical, fluidic and optical applications. This manual includes practical instructions for the use...
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| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Livre |
| Langue : | anglais |
| Titre complet : | Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures / by Joachim Frühauf. |
| Publié : |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
, 2005 Cham : Springer Nature |
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