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Principles and Applications of NanoMEMS Physics
Principles and Applications of NanoMEMS Physics presents the first unified exposition of the physical principles at the heart of NanoMEMS-based devices and applications. In particular, after beginning with a comprehensive presentation of the fundamentals and limitations of nanotechnology and MEMS fa...
| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Livre |
| Langue : | anglais |
| Titre complet : | Principles and Applications of NanoMEMS Physics / by Héctor J. Santos. |
| Édition : | 1st ed. 2005. |
| Publié : |
New York, NY :
Springer US
, [20..] Cham : Springer Nature |
| Collection : | Microsystems ; 15 |
| Accès en ligne : |
Accès Nantes Université
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| Condition d'utilisation et de reproduction : | Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales : https://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 |
| Contenu : | Nanoelectromechanical Systems. Nanomes Physics: Quantum Wave-Particle Phenomena. Nanomems Physics: Quantum Wave Phenomena. Nanomems Applications: Circuits and Systems. Nanomems Applications: Photonics |
| Sujets : | |
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