Élaboration, étude et analyse par spectroscopie m-lines de guides d'ondes composites multicouches
Depuis une quarantaine d années, la spectroscopie m-lines est utilisée pour la caractérisation optique de guides d ondes plans monocouches. L objet des travaux de recherches de cette thèse a été d en généraliser l emploi à l étude de guides composites multicouches. Une méthode d analyse numérique, p...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Élaboration, étude et analyse par spectroscopie m-lines de guides d'ondes composites multicouches / Thomas Schneider; sous la direction de Hartmut Gundel |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2006 |
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Accès Nantes Université
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Note de thèse : | Thèse doctorat : Physique. Sciences des matériaux : Nantes : 2006 |
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Élaboration, étude et analyse par spectroscopie m-lines de guides d'ondes composites multicouches |
Résumé : | Depuis une quarantaine d années, la spectroscopie m-lines est utilisée pour la caractérisation optique de guides d ondes plans monocouches. L objet des travaux de recherches de cette thèse a été d en généraliser l emploi à l étude de guides composites multicouches. Une méthode d analyse numérique, permettant de relier les mesures m-lines aux valeurs des indices optiques et des épaisseurs d un guide à trois couches, a été développée. La précision de cette méthode a été étudiée par une approche statistique sur un grand nombre de guides simulés et estimée à environ 10-3 pour l indice de réfraction et à une dizaine de nanomètres pour l épaisseur. Des structures multicouches ont été élaborés à partir de ZnO et de PZT et caractérisés par la spectroscopie m-lines. La variation d indice de réfraction de chacune des couches des guides ZnO/PZT/ZnO ont pu être corrélées à des résultats d analyse structurale. La méthode d analyse des guides à trois couches a donc été validée expérimentalement. Since forty years, m-lines spectroscopy is employed in order to optical characterize plane monolayer waveguides. Objective of the present research work was to generalize this technique for the study of composite multilayer waveguides. A numerical analysis algorithme, allowing to relate the m-lines measurements to the different optical refraction indexes and the thicknesses of a three layer waveguide, was developed. In a statistical approach, a large number of simulated waveguides was used in order to study the precision of the method, which was estimated to be approximately 10-3 for the refraction index and about ten nanometers for the thickness. Composite multilayer structures, using ZnO and PZT, were elaborated and characterized by m-lines spectroscopy. The variation of the refraction index of each layer of the ZnO/PZT/ZnO waveguides could be correlated to the results from the structural analysis. Hence, the analysis method of the three layer waveguide was experimentally verified. |
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Bibliographie : | 76 références bibliographiques |