Contribution à l'étude des films de nitrure d'étain amorphe obtenus par pulvérisation cathodique réactive
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Auteur principal : | |
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | Contribution à l'étude des films de nitrure d'étain amorphe obtenus par pulvérisation cathodique réactive |
Publié : |
1973 |
Description matérielle : | 78 f. |
Note de thèse : | Th. : Sci. : Nantes : 1973 ; 3e cycle Spéc. Chimie structurale |
Sujets : |
LEADER | 01105nam a2200301 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | PPN072550546 | ||
005 | 20031222123100.0 | ||
009 | DYNIX_BUNAN_223658 | ||
100 | |a 19960216d1973 u0frey0103 ba | ||
101 | 0 | |a fre | |
102 | |a FR | ||
105 | |a m m | ||
200 | 1 | |a Contribution à l'étude des films de nitrure d'étain amorphe obtenus par pulvérisation cathodique réactive | |
210 | |d 1973 | ||
215 | |a 78 f. |c ill. |d 30 cm | ||
300 | |a Lab. Physico-chimie minérale et thermodynamique, Angers | ||
320 | |a 80 réf. bibl. | ||
328 | |a Th. : Sci. : Nantes : 1973 ; 3e cycle | ||
328 | |a Spéc. Chimie structurale | ||
610 | 2 | |a Matériaux diélectriques amorphes, couches minces | |
610 | 2 | |a Nitrure d'étain (Sn3N4) | |
610 | 2 | |a Pulvérisation cathodique réactive, procédé diode continu | |
610 | 2 | |a Structure de bandes | |
700 | 1 | |a Hantzpergue |b Jean-Jacques | |
801 | |a FR |b DYNIX_BUNAN |c 19960216 |g AFNOR | ||
979 | |a SCI | ||
993 | |a 1160629515 |b SCI |c 73 NANT Hantzpergue 2ex |d EM |e THE12 |f I |g 16-02-1996 |h 26-06-2000 |i 11-07-2003 |s 73 NANT 3e cycle |t EM |u SCTH12 |v i | ||
998 | |a 176228 |