Etude des oxynitrures de silicium en couches minces déposées par pulvérisation en vue d'applications optiques - Pinard Laurent (1993)
Keywords: Multicouches optiques à faibles pertes (couches minces optiques); Couches minces d'oxynitrures de silicium, propriétés, analyses; Pulvérisation cathodique; Pulvérisation RF (Radio-Fréquence) magnétron