ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN

ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN

CE TRAVAIL EST CONSACRE A L'ETUDE DE LA FRAGMENTATION DE MOLECULES ORGANOSILICIEES DANS DES PLASMAS BASSE PRESSION (2 MTORR) DE MELANGE OXYGENE/ORGANOSILIE OBTENUS DANS UN REACTEUR HELICON (13,56 MHZ). LES TROIS ORGANOSILICIES RETENUS POUR CETTE ETUDE COMPARATIVE SONT : LE TETRAETHOXYSILANE, L&...

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Bibliographic Details
Main Author : Aumaille Karine
Other Authors : Granier Agnès (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN / KARINE AUMAILLE; SOUS LA DIR. DE AGNES GRANIER
Published : [S.l.] : [s.n.] , 2000
Physical Description : 215 p.
Note de thèse : Thèse de doctorat : PHYSIQUE : Nantes : 2000
Subjects :
PHYSIQUE : DOMAINES INTERDISCIPLINAIRES : SCIENCES DE MATERIAUX . RHELOGIE
ETUDE EXPERIMENTALE/CROISSANCE CRISTALLINE EN PHASE VAPEUR/COUCHE MINCE/PLASMA/HELICON/ETUDE COMPARATIVE/PRECURSEUR/FRAGMENTATION/SILANE ORGANIQUE/SILOXANE ORGANIQUE/SILAZANE ORGANIQUE/CINETIQUE/SPECTROMETRIE MASSE/SPECTROMETRIE EMISSION/SPECTRE IR/ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE/SPECTROMETRIE PHOTOELECTRON/RAYON X/SILANE (TETRAETHOXY)/DISILOXANE (HEXAMETHYL)/DISILAZANE (HEXAMETHYL)

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