ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN
CE TRAVAIL EST CONSACRE A L'ETUDE DE LA FRAGMENTATION DE MOLECULES ORGANOSILICIEES DANS DES PLASMAS BASSE PRESSION (2 MTORR) DE MELANGE OXYGENE/ORGANOSILIE OBTENUS DANS UN REACTEUR HELICON (13,56 MHZ). LES TROIS ORGANOSILICIES RETENUS POUR CETTE ETUDE COMPARATIVE SONT : LE TETRAETHOXYSILANE, L&...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | ETUDE COMPARATIVE DES PROCEDES DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA D'ORGANOSILICIES : TEOS, HMDSO ET HMDSN / KARINE AUMAILLE; SOUS LA DIR. DE AGNES GRANIER |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 2000 |
Description matérielle : | 215 p. |
Note de thèse : | Thèse de doctorat : PHYSIQUE : Nantes : 2000 |
Sujets : |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Magasin aérotherme | 00 NANT 2111 | Empruntable | Disponible |
Magasin aérotherme | 00 NANT 2111 | Exclu du prêt | Disponible |