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Handbook of multilevel metallization for integrated circuits : materials, technology, and applications
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| Autres auteurs : | , , |
|---|---|
| Format : | Livre |
| Langue : | anglais |
| Titre complet : | Handbook of multilevel metallization for integrated circuits : materials, technology, and applications / edited by Syd R. Wilson and Clarence J. Tracy, John L. Freeman, Jr |
| Publié : |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes
, c1993 |
| Description matérielle : | xxiii, 887 p. |
| Collection : | Materials science and process technology series |
| Sujets : |
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