Handbook of multilevel metallization for integrated circuits : materials, technology, and applications
Autres auteurs : | , , |
---|---|
Format : | Livre |
Langue : | anglais |
Titre complet : | Handbook of multilevel metallization for integrated circuits : materials, technology, and applications / edited by Syd R. Wilson and Clarence J. Tracy, John L. Freeman, Jr |
Publié : |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes
, c1993 |
Description matérielle : | xxiii, 887 p. |
Collection : | Materials science and process technology series |
Sujets : |
Chargement en cours