Détails bibliographiques
Autres auteurs : |
Wilson Syd R.
(Éditeur scientifique),
Tracy Clarence J.
(Éditeur scientifique),
Freeman John L.
(Éditeur scientifique) |
Format : |
Livre |
Langue : |
anglais |
Titre complet : |
Handbook of multilevel metallization for integrated circuits : materials, technology, and applications / edited by Syd R. Wilson and Clarence J. Tracy, John L. Freeman, Jr |
Publié : |
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
Noyes
, c1993
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Description matérielle : |
xxiii, 887 p. |
Collection : |
Materials science and process technology series
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Sujets : |
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