ETUDE DE L'INTERACTION ENTRE DES PLASMAS DE SF#6 ET LA RESINE DE MASQUAGE DANS DES PROCEDES DE GRAVURE SECHE
CE MEMOIRE PRESENTE UNE ETUDE DES INTERACTIONS ENTRE DES PLASMAS RADIOFREQUENCE A BASE D'HEXAFLUORURE DE SOUFRE (SF#6) UTILISES POUR LA GRAVURE DES MATERIAUX DE LA MICROELECTRONIQUE ET UNE RESINE PHOTOSENSIBLE DE MASQUAGE DE TYPE NOVOLAQUE. L'ETUDE A PORTE, A LA FOIS, SUR LE DIAGNOSTIC DE...
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | ETUDE DE L'INTERACTION ENTRE DES PLASMAS DE SF#6 ET LA RESINE DE MASQUAGE DANS DES PROCEDES DE GRAVURE SECHE / JEAN-FRANCOIS COULON; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1992 |
Description matérielle : | 196 f |
Note de thèse : | Thèse Doctorat : Sciences appliquées : Nantes : 1992 |
Sujets : | |
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ETUDE DE L'INTERACTION ENTRE DES PLASMAS DE SF#6 ET LA RESINE DE MASQUAGE DANS DES PROCEDES DE GRAVURE SECHE |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication BU Sciences, Ex. 2 : Titre temporairement indisponible à la communication |
BU Sciences
| Cote | Prêt | Statut |
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Communication impossible | 92 NANT 2029 | Empruntable | Disponible |
Communication impossible | 92 NANT 2029 | Exclu du prêt | Disponible |