ETUDE DE L'INTERACTION ENTRE DES PLASMAS DE SF#6 ET LA RESINE DE MASQUAGE DANS DES PROCEDES DE GRAVURE SECHE

ETUDE DE L'INTERACTION ENTRE DES PLASMAS DE SF#6 ET LA RESINE DE MASQUAGE DANS DES PROCEDES DE GRAVURE SECHE

CE MEMOIRE PRESENTE UNE ETUDE DES INTERACTIONS ENTRE DES PLASMAS RADIOFREQUENCE A BASE D'HEXAFLUORURE DE SOUFRE (SF#6) UTILISES POUR LA GRAVURE DES MATERIAUX DE LA MICROELECTRONIQUE ET UNE RESINE PHOTOSENSIBLE DE MASQUAGE DE TYPE NOVOLAQUE. L'ETUDE A PORTE, A LA FOIS, SUR LE DIAGNOSTIC DE...

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Bibliographic Details
Main Author : COULON JEAN-FRANCOIS (Auteur)
Other Authors : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : ETUDE DE L'INTERACTION ENTRE DES PLASMAS DE SF#6 ET LA RESINE DE MASQUAGE DANS DES PROCEDES DE GRAVURE SECHE / JEAN-FRANCOIS COULON; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1992
Physical Description : 196 f
Note de thèse : Thèse Doctorat : SCIENCES APPLIQUEES : Nantes : 1992
Subjects :
SCIENCES APPLIQUEES : ELECTRONIQUE
MICROELECTRONIQUE/GRAVURE PLASMA/RESINE PHOTOSENSIBLE/SF#6/CARACTERISATION CHIMIQUE/DIAGNOSTIC PLASMA/XPS/PROCEDE INDUSTRIEL

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