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ELABORATION ET CARACTERISATION STRUCTURALE DE COUCHES MINCES SI#1##XGE#X OBTENUES PAR IMPLANTATION IONIQUE SUIVIE DE TRAITEMENTS THERMIQUES CLASSIQUES OU LASER
L'ALLIAGE SI#1##XGE#X OFFRE DES DEGRES DE LIBERTE (CONCENTRATION EN GE, ETAT DE CONTRAINTE) PERMETTANT D'OPTIMISER LES STRUCTURES DE BANDE EN VUE DE L'ELABORATION DE DISPOSITIFS MICRO- ET OPTO ELECTRONIQUES. DANS LE CADRE DE CE TRAVAIL DE THESE, UNE METHODE DE FABRICATION DE CET ALLIA...
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| Auteur principal : | |
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ELABORATION ET CARACTERISATION STRUCTURALE DE COUCHES MINCES SI#1##XGE#X OBTENUES PAR IMPLANTATION IONIQUE SUIVIE DE TRAITEMENTS THERMIQUES CLASSIQUES OU LASER / FLORENCE REPPLINGER; SOUS LA DIRECTION DE PAUL SIFFERT |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1994 |
| Description matérielle : | 182 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Physique : Strasbourg 1 : 1994 |
| Sujets : | |
| Documents associés : | Reproduit comme:
ELABORATION ET CARACTERISATION STRUCTURALE DE COUCHES MINCES SI#1##XGE#X OBTENUES PAR IMPLANTATION IONIQUE SUIVIE DE TRAITEMENTS THERMIQUES CLASSIQUES OU LASER |
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