GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE DIAMANT. APPLICATION A LA PLANARISATION

GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE DIAMANT. APPLICATION A LA PLANARISATION

CE MEMOIRE DE THESE PORTE SUR L'ETUDE DE LA GRAVURE DE COUCHES MINCES DE DIAMANT PAR UN PROCEDE DE GRAVURE IONIQUE REACTIVE (RIE) EN PLASMAS RADIOFREQUENCE D'HEXAFLUORURE DE SOUFRE (SF#6) ET D'OXYGENE. CE TRAVAIL A POUR OBJECTIF DE PROPOSER UN POST-TRAITEMENT DES COUCHES DE DIAMANT PA...

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Bibliographic Details
Main Author : Vivensang Christophe (Auteur)
Other Authors : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : GRAVURE IONIQUE REACTIVE DES COUCHES MINCES DE DIAMANT. APPLICATION A LA PLANARISATION / CHRISTOPHE VIVENSANG; SOUS LA DIRECTION DE G. TURBAN
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1996
Physical Description : 185 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : PHYSIQUE/SCIENCES APPLIQUEES : Nantes : 1996
Subjects :
PHYSIQUE/SCIENCES APPLIQUEES : SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE/ELECTRONIQUE
ETUDE EXPERIMENTALE/COUCHE MINCE/DIAMANT/MINERAL SYNTHETIQUE/TRAITEMENT SURFACE/GRAVURE IONIQUE REACTIVE/POLISSAGE IONIQUE/INTERACTION SOLIDE PLASMA/FLUORATION/RUGOSITE/TECHNOLOGIE PLANAIRE/SILICE/SILICIUM OXYDE/PROCESSUS FABRICATION/GRAVURE SELECTIVE/8165C/PAC/C/SIO2/O SI
EXPERIMENTAL STUDY/THIN FILMS/DIAMONDS/NK/SYNTHETIC MINERAL/SURFACE TREATMENTS/REACTIVE ION ETCHING/ION POLISHING/SURFACE PLASMA INTERACTION/FLUORINATION/ROUGHNESS/PLANAR TECHNOLOGY/SILICA/NK/SILICON OXIDES/NK/PRODUCTION PROCESS/SELECTIVE ETCHING

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