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DEVELOPPEMENT ET CARACTERISATION DES PROCEDES DE GRAVURE DE LA GRILLE EN POLYSILICIUM DANS UNE SOURCE PLASMA HAUTE DENSITE
CE TRAVAIL MONTRE QUE L'UTILISATION D'UN MASQUE DUR D'OXYDE PLUTOT QU'UN MASQUE ORGANIQUE EN RESINE AUGMENTE CONSIDERABLEMENT LA ROBUSTESSE DES PROCEDES DE GRAVURE DE LA GRILLE EN POLYSILICIUM ET PERMET LA GRAVURE DE LA GRILLE SUR DES OXYDES MINCES DE 45 A SANS CREATION DE DEFAUT...
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| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | DEVELOPPEMENT ET CARACTERISATION DES PROCEDES DE GRAVURE DE LA GRILLE EN POLYSILICIUM DANS UNE SOURCE PLASMA HAUTE DENSITE / FERDINAND BELL; SOUS LA DIRECTION DE G. TURBAN |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1996 |
| Description matérielle : | 140 P. |
| Note de thèse : | Thèse de doctorat : Sciences appliquées : Nantes : 1996 |
| Sujets : |
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