DEVELOPPEMENT ET CARACTERISATION DES PROCEDES DE GRAVURE DE LA GRILLE EN POLYSILICIUM DANS UNE SOURCE PLASMA HAUTE DENSITE

DEVELOPPEMENT ET CARACTERISATION DES PROCEDES DE GRAVURE DE LA GRILLE EN POLYSILICIUM DANS UNE SOURCE PLASMA HAUTE DENSITE

CE TRAVAIL MONTRE QUE L'UTILISATION D'UN MASQUE DUR D'OXYDE PLUTOT QU'UN MASQUE ORGANIQUE EN RESINE AUGMENTE CONSIDERABLEMENT LA ROBUSTESSE DES PROCEDES DE GRAVURE DE LA GRILLE EN POLYSILICIUM ET PERMET LA GRAVURE DE LA GRILLE SUR DES OXYDES MINCES DE 45 A SANS CREATION DE DEFAUT...

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Bibliographic Details
Main Author : BELL FERDINAND (Auteur)
Corporate Author : Université de Nantes 1962-2021 (Organisme de soutenance)
Other Authors : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : DEVELOPPEMENT ET CARACTERISATION DES PROCEDES DE GRAVURE DE LA GRILLE EN POLYSILICIUM DANS UNE SOURCE PLASMA HAUTE DENSITE / FERDINAND BELL; SOUS LA DIRECTION DE G. TURBAN
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1996
Physical Description : 140 P.
Note de thèse : Thèse de doctorat : Sciences appliquées : Nantes : 1996
Subjects :
SCIENCES APPLIQUEES : ELECTRONIQUE
FABRICATION MICROELECTRONIQUE/GRAVURE PLASMA/GRAVURE SELECTIVE/MASQUE/FORMATION MOTIF/METHODE MESURE/EPAISSEUR COUCHE/COUCHE OXYDE/GRILLE TRANSISTOR/SILICIUM POLYCRISTALLIN/CD
MICROELECTRONIC FABRICATION/PLASMA ETCHING/SELECTIVE ETCHING/MASK/PATTERNING/MEASUREMENT METHOD/LAYER THICKNESS/OXIDE LAYER/TRANSISTOR GATE/POLYSILICON/CD
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