ETUDE DE LA MODIFICATION DES SURFACES DE SILICIUM ET D'OXYDE DE SILICIUM SOUMISES A DES PLASMAS DE TRIFLUOROMETHANE ET D'OXYGENE

ETUDE DE LA MODIFICATION DES SURFACES DE SILICIUM ET D'OXYDE DE SILICIUM SOUMISES A DES PLASMAS DE TRIFLUOROMETHANE ET D'OXYGENE

LE BUT DE CETTE ETUDE EST D'ACQUERIR UNE CONNAISSANCE APPROFONDIE DU MECANISME D'INTERACTION ENTRE LES PLASMAS DE CHF::(3) ET D'O::(2) ET LES SURFACES DE SI ET SIO::(2). DEUX TECHNIQUES EXPERIMENTALES ONT ETE UTILISEES : LA SPECTROMETRIE DE MASSE DU GAZ IONISE ET LA SPECTROMETRIE DE P...

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Bibliographic Details
Main Author : Rhounna Abdeljalil (Auteur)
Other Authors : Turban Guy (Directeur de thèse)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : ETUDE DE LA MODIFICATION DES SURFACES DE SILICIUM ET D'OXYDE DE SILICIUM SOUMISES A DES PLASMAS DE TRIFLUOROMETHANE ET D'OXYGENE / ABDELJALIL RHOUNNA; SOUS LA DIRECTION DE GUY TURBAN
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1988
Physical Description : NON PAGINE
Note de thèse : Thèse de 3e cycle : CHIMIE : Nantes : 1988
Subjects :
CHIMIE : CHIMIE GENERALE ET PHYSIQUE
INTERFACE GAZ SOLIDE/GRAVURE PLASMA/SEMICONDUCTEUR/HYDROCARBURE FLUORE/COMPOSE ALIPHATIQUE/COMPOSE SATURE/METHODE PHYSIQUE/SPECTROMETRIE MASSE/SPECTROMETRIE PHOTOELECTRON/RAYON X/STRUCTURE SURFACE/SILICIUM/SILICE/OXYGENE/METHANE(TRIFLUORO)
GAS SOLID INTERFACE/PLASMA ETCHING/SEMICONDUCTOR MATERIALS/FLUOROCARBON/ALIPHATIC COMPOUND/SATURATED COMPOUND/PHYSICAL METHOD/MASS SPECTROMETRY/PHOTOELECTRON SPECTROMETRY/X RAY/SURFACE STRUCTURE/SILICON/SILICA/OXYGEN

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