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ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DU DISELENIURE DE MOLYBDENE SEMI-CONDUCTEUR
ELABORATION DES COUCHES PAR UNE METHODE ORIGINALE BASEE SUR LE DEPOT PAR PULVERISATION CATHODIQUE DIODE EN CONTINU (A PARTIR D'UNE POUDRE MOSE::(2) COMME CIBLE), SUIVI D'UN ENRICHISSEMENT EN SE PUIS D'UN RECUIT SOUS VIDE. LES EFFETS DE CONDITIONS DE PULVERISATION ET DES TRAITEMENTS TH...
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| Other Authors : | |
| Format : | Thesis |
| Language : | français |
| Title statement : | ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DU DISELENIURE DE MOLYBDENE SEMI-CONDUCTEUR / ALY MALLOUKY; SOUS LA DIRECTION DE GUY GOUREAUX |
| Published : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1987 |
| Physical Description : | 228 P. |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : Physique : Nantes : 1987 |
| Subjects : |
| Summary : | ELABORATION DES COUCHES PAR UNE METHODE ORIGINALE BASEE SUR LE DEPOT PAR PULVERISATION CATHODIQUE DIODE EN CONTINU (A PARTIR D'UNE POUDRE MOSE::(2) COMME CIBLE), SUIVI D'UN ENRICHISSEMENT EN SE PUIS D'UN RECUIT SOUS VIDE. LES EFFETS DE CONDITIONS DE PULVERISATION ET DES TRAITEMENTS THERMIQUES ULTERIEURS SUR LES PROPRIETES DES COUCHES ONT ETE ETUDIES PAR DIFFRACTION RX, MICROSCOPIE ELECTRONIQUE A BALAYAGE, MICROSONDE ELECTRONIQUE, SPECTROSCOPIE ESCA-XPS, ABSORPTION OPTIQUE ET MESURES ELECTRIQUES (CONDUCTIVITE ELECTRIQUE ET POUVOIR THERMOELECTRIQUE). LES COUCHES MINCES OBTENUES SONT POLYCRISTALLINES ET L'ORIENTATION ET LAS TAILLE DE CRISTALLITES DEPENDENT FORTEMENT DE LA TEMPERATURE DU SUPPORT. LES RESULTATS DES MESURES ELECTRIQUES SONT INTERPRETES DANS LE CADRE DE MODELES DE JOINTS DE GRAINS |
|---|---|
| Variantes de titre : | ELABORATION AND CHARACTERIZATION OF MOSE::(2) SEMICONDUCTOR THIN FILMS |
| Notes : | 1987NANT2012 |
| Bibliography : | 98 REF |