ELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE

ELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE

LA RECHERCHE DE MATERIAUX PERFORMANTS EN MICROELECTRONIQUE NOUS A CONDUIT A NOUS INTERESSER AUX SILICIURES DES METAUX REFRACTAIRES. DES COUCHES MINCES ONT ETE REALISEES PAR PULVERISATION CATHODIQUE EN MODE R.F. A PARTIR D'UNE CIBLE UNIQUE DE TUNGSTENE OU DE SILICIURE DE TUNGSTENE FRITTEE. ON S&...

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Bibliographic Details
Main Author : Zerrade Azeddine (Auteur)
Format : Thesis
Language : français
Title statement : ELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE / AZEDDINE ZERRADE
Published : [S.l.] : [s.n.] , 1985
Physical Description : 152 P.
Note de thèse : Thèse de 3e cycle : PHYSIQUE : Nantes : 1985
Subjects :
PHYSIQUE : SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE
COMPOSE MINERAL/ETUDE EXPERIMENTALE/METAL TRANSITION COMPOSE/PULVERISATION CATHODIQUE/COUCHE MINCE/CROISSANCE CRISTALLINE/DIFFRACTION RX/CARACTERISATION/RETRODIFFUSION RUTHERFORD/CONTACT/PULVERISATION REACTIVE/RESISTIVITE ELECTRIQUE/TUNGSTENE SILICIURE
INORGANIC COMPOUND/EXPERIMENTAL STUDY/TRANSITION METAL COMPOUNDS/CATHODIC SPUTTERING/THIN FILM/CRYSTAL GROWTH/X RAY DIFFRACTION/CHARACTERIZATION/RUTHERFORD BACKSCATTERING/CONTACT/REACTIVE SPUTTERING/ELECTRIC RESISTIVITY/TUNGSTEN SILICIDES

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Magasin aérotherme 85 NANT Zerrade 2ex Empruntable Available
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