NantilusELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE
LA RECHERCHE DE MATERIAUX PERFORMANTS EN MICROELECTRONIQUE NOUS A CONDUIT A NOUS INTERESSER AUX SILICIURES DES METAUX REFRACTAIRES. DES COUCHES MINCES ONT ETE REALISEES PAR PULVERISATION CATHODIQUE EN MODE R.F. A PARTIR D'UNE CIBLE UNIQUE DE TUNGSTENE OU DE SILICIURE DE TUNGSTENE FRITTEE. ON S&...
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| Main Author : | |
|---|---|
| Format : | Thesis |
| Language : | français |
| Title statement : | ELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE / AZEDDINE ZERRADE |
| Published : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1985 |
| Physical Description : | 152 P. |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : PHYSIQUE : Nantes : 1985 |
| Subjects : |
| LEADER | 02472cam a22003971i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | PPN04351412X | ||
| 005 | 20050324012900.0 | ||
| 035 | |a 072519169 | ||
| 035 | |a thS-00042175 | ||
| 035 | |a DYNIX_BUNAN_205215 | ||
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| 200 | 1 | |a ELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE |f AZEDDINE ZERRADE | |
| 210 | |a [S.l.] |c [s.n.] |d 1985 | ||
| 215 | |a 152 P. |d 30 cm | ||
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| 330 | |a LA RECHERCHE DE MATERIAUX PERFORMANTS EN MICROELECTRONIQUE NOUS A CONDUIT A NOUS INTERESSER AUX SILICIURES DES METAUX REFRACTAIRES. DES COUCHES MINCES ONT ETE REALISEES PAR PULVERISATION CATHODIQUE EN MODE R.F. A PARTIR D'UNE CIBLE UNIQUE DE TUNGSTENE OU DE SILICIURE DE TUNGSTENE FRITTEE. ON S'INTERESSE A LA FAIBLE RESISTIVITE DE CES COUCHES ET A LA DIMINUTION DE CELLE-CI APRES TRAITEMENT THERMIQUE. L'ANALYSE DE DEPOTS EST EFFECTUEE PAR DIFFRACTION DE RAYONS X ET RETRODIFFUSION (R.B.S.). LA PULVERISATION REACTIVE A AINSI ETE UTILISEE POUR L'ENRICHISSEMENT DES DEPOTS EN SILICIURE | ||
| 517 | | | |a ELABORATION AND STUDY OF TUNGSTEN SILICIDE THIN FILMS GROWN BY SIMPLE AND REACTIVE CATHODIC SPUTTERING |z eng | |
| 610 | 1 | |a PHYSIQUE : SCIENCES DES MATERIAUX, RHEOLOGIE | |
| 610 | 2 | |a COMPOSE MINERAL/ETUDE EXPERIMENTALE/METAL TRANSITION COMPOSE/PULVERISATION CATHODIQUE/COUCHE MINCE/CROISSANCE CRISTALLINE/DIFFRACTION RX/CARACTERISATION/RETRODIFFUSION RUTHERFORD/CONTACT/PULVERISATION REACTIVE/RESISTIVITE ELECTRIQUE/TUNGSTENE SILICIURE | |
| 610 | 2 | |a INORGANIC COMPOUND/EXPERIMENTAL STUDY/TRANSITION METAL COMPOUNDS/CATHODIC SPUTTERING/THIN FILM/CRYSTAL GROWTH/X RAY DIFFRACTION/CHARACTERIZATION/RUTHERFORD BACKSCATTERING/CONTACT/REACTIVE SPUTTERING/ELECTRIC RESISTIVITY/TUNGSTEN SILICIDES | |
| 686 | |a 001.B.80.A.15 |2 tlt | ||
| 700 | 1 | |a Zerrade |b Azeddine |4 070 | |
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