NantilusELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE
LA RECHERCHE DE MATERIAUX PERFORMANTS EN MICROELECTRONIQUE NOUS A CONDUIT A NOUS INTERESSER AUX SILICIURES DES METAUX REFRACTAIRES. DES COUCHES MINCES ONT ETE REALISEES PAR PULVERISATION CATHODIQUE EN MODE R.F. A PARTIR D'UNE CIBLE UNIQUE DE TUNGSTENE OU DE SILICIURE DE TUNGSTENE FRITTEE. ON S&...
Enregistré dans:
| Auteur principal : | |
|---|---|
| Format : | Thèse ou mémoire |
| Langue : | français |
| Titre complet : | ELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE / AZEDDINE ZERRADE |
| Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1985 |
| Description matérielle : | 152 P. |
| Note de thèse : | Thèse de 3e cycle : PHYSIQUE : Nantes : 1985 |
| Sujets : |
| Résumé : | LA RECHERCHE DE MATERIAUX PERFORMANTS EN MICROELECTRONIQUE NOUS A CONDUIT A NOUS INTERESSER AUX SILICIURES DES METAUX REFRACTAIRES. DES COUCHES MINCES ONT ETE REALISEES PAR PULVERISATION CATHODIQUE EN MODE R.F. A PARTIR D'UNE CIBLE UNIQUE DE TUNGSTENE OU DE SILICIURE DE TUNGSTENE FRITTEE. ON S'INTERESSE A LA FAIBLE RESISTIVITE DE CES COUCHES ET A LA DIMINUTION DE CELLE-CI APRES TRAITEMENT THERMIQUE. L'ANALYSE DE DEPOTS EST EFFECTUEE PAR DIFFRACTION DE RAYONS X ET RETRODIFFUSION (R.B.S.). LA PULVERISATION REACTIVE A AINSI ETE UTILISEE POUR L'ENRICHISSEMENT DES DEPOTS EN SILICIURE |
|---|---|
| Variantes de titre : | ELABORATION AND STUDY OF TUNGSTEN SILICIDE THIN FILMS GROWN BY SIMPLE AND REACTIVE CATHODIC SPUTTERING |
| Bibliographie : | 84 REF |