CONTRIBUTION A L'ETUDE DES COUCHES MINCES DE MONOXYDE DE SILICIUM
CARACTERISATION DES COUCHES MINCES OBTENUES PAR EVAPORATION "FLASH" (EMISSION RX, ABSORPTION INFRAROUGE ET ANALYSE DE COMPOSITION). MESURES ELECTRIQUES DES STRUCTURES METAL-SIO-METAL. INTERPRETATIONS.
Enregistré dans:
Auteur principal : | |
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Format : | Thèse ou mémoire |
Langue : | français |
Titre complet : | CONTRIBUTION A L'ETUDE DES COUCHES MINCES DE MONOXYDE DE SILICIUM / NUGUYEN THIEN PHAP |
Publié : |
[S.l.] :
[s.n.]
, 1977 |
Description matérielle : | 83 f |
Note de thèse : | DOCTORAT DE 3E CYCLE : PHYSIQUE/SCIENCES APPLIQUEES : 1977 |
Sujets : | |
Particularités de l'exemplaire : | BU Sciences, Ex. 1 : Titre temporairement indisponible à la communication |
Résumé : | CARACTERISATION DES COUCHES MINCES OBTENUES PAR EVAPORATION "FLASH" (EMISSION RX, ABSORPTION INFRAROUGE ET ANALYSE DE COMPOSITION). MESURES ELECTRIQUES DES STRUCTURES METAL-SIO-METAL. INTERPRETATIONS. |
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Bibliographie : | 3 P |