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Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS)
by
Makaoui
Karim
[s.n.] 2012
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Etude des propriétés de couches minces d'oxyde de titane déposées par procédés plasmas (PECVD, pulvérisation magnétron réactive DC et HPPMS)
by
Makaoui
Karim
,
Besland Marie-Paule
,
Goullet Antoine
,
Granier Agnès
[s.n.] 2012
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